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全自动氧化钛/氮化钛刻蚀机
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砂轮划片机
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深硅刻蚀机
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HSE M200
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手动膜厚仪
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手动探针台
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数码显微镜
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甩干机1
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甩干机2
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台阶仪2（半自动）
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台阶仪3（半自动）
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套刻精度测量仪
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特征尺寸扫描电子显微镜
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贴蜡机
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椭偏仪
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无机间清洗台
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应力测试仪
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有机间清洗台
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