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DUV光刻机
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FIB设备SEM/EDS
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IBE离子束刻蚀机（半自动式）
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Haasrode® Lorem® R
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ICP1 (氯基气体、氢气、甲烷刻蚀专用)
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ICP2(氟基气体刻蚀、铌酸锂刻蚀专用)
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ICP3(深介质刻蚀专用)
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LPCVD氮化硅
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PEALD
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PECVD1（托盘小批量生产）
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PECVD2（25片晶圆盒大批量生产）
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RIE (反应离子刻蚀台)
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SEM
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SEM-2
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半自动清洗机（无机）
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半自动清洗机（有机）
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半自动贴片机
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半自动匀胶机
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磁控溅射镀膜仪1
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