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05热板
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FC倒装焊机
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FIB-SEM
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HMDS
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IBE离子束刻蚀机（半自动式）
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Haasrode® Lorem® R
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ICP（sentech）
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ICP（鲁汶）
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RIE
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SEM扫描电镜
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爱发科PECVD
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半自动匀胶机
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磁控溅射
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大样品刻蚀机
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等离子清洗机
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电子束曝光EBL
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电子束曝光EBL-2
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