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半自动匀胶机
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磁控溅射镀膜仪1
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磁控溅射镀膜仪2
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磁控溅射镀膜仪3
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大样品刻蚀机
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等离子清洗机
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等离子去胶机
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电子束光刻系统
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电子束蒸发台1
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电子束蒸发台2
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分光光度计
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管式退火炉（2寸及以下产品）
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光刻间显微镜
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光学镀膜机2
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光学镀膜仪
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减薄机
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接触式光刻机
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解理机
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金丝键合机
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