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接触式光刻机(MA6)
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晶圆搬运金相显微镜
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晶圆形貌检测仪
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精密研磨抛光机
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离子束刻蚀机（IBE）
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膜厚仪
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纳米压印机
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砂轮划片机
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深硅刻蚀机
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HSE M200
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台阶仪
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