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台阶仪
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台阶仪2（半自动）
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特征尺寸扫描电子显微镜
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贴蜡机
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无机间清洗台
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应力测试仪
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有机间清洗台
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原子力显微镜
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NX-20
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匀胶机
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真空管式退火炉（4寸及以下产品）
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桌面式显影台
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自动反应磁控溅射
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自动清洗机
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自动刷片机
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