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金相/数码显微镜
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晶圆缺陷测试仪
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清洗间使用费
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全自动ICPCVD、PECVD3、PECVD4镀膜机
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全自动RCA清洗机
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全自动金属铝刻蚀机
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全自动铝、氮化钛金属镀膜机
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全自动涂胶显影机
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全自动氧化硅/氮化硅/硅刻蚀机
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全自动氧化钛/氮化钛刻蚀机
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砂轮划片机
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深硅刻蚀机
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HSE M200
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